無油真空泵在其工作壓強下，應能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。

真空設(shè)備對油污染的要求。若設(shè)備嚴格要求無油時，應該選各種無油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達到清潔真空要求。

無油真空泵的工作壓強應該滿足真空設(shè)備的Ji限真空及工作壓強要求。如：某真空干燥工藝要求10mmHg的工作真空度，選用的真空泵的Ji限真空度Zhi少要2mmHg，Zui好能達到1mmHg。通常選擇泵的Ji限真空度要高于真空設(shè)備工作真空度半個到一個數(shù)量級。

無油真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子，降低真空室內(nèi)的氣體壓力，使之達到要求的真空度。概括地講從大氣到Ji高真空有一個很大的范圍，Zhi今為止還沒有一種真空系統(tǒng)能覆蓋這個范圍。因此，為達到不同產(chǎn)品的工藝指標、工作效率和設(shè)備工作壽命要求、不同的真空區(qū)段需要選擇不同的真空系統(tǒng)配置。為達到Zui佳配置，選擇真空系統(tǒng)時，應考慮下述各點：

1.每種泵都有一定的工作壓力范圍。因而，泵的工作點應該選在這個范圍之內(nèi)，而不能讓它在允許工作壓力以外長時間工作。

2.真空泵在其工作壓力下，應能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。

3.真空泵的Ji限壓力應該滿足該工藝的工作壓力。通常選擇泵的Ji限壓力低于工藝要求約一個數(shù)量級。